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压阻效应常用的半导体材料为 什么是半导体压阻效应?

2021-07-24 06:45:09徽菜
什么是半导体压阻效应?电阻值随外界影响发生变化的现象称为电阻应变效应。在力(压力)的作用下产生的电阻应变效应,称为压阻效应。 在目前广泛应利用的电阻应变效应,包括金属电阻的应变效应和半导体应变效应两类; 金属电阻的应变效应主要是由于其几何形状的变化而产生的
压阻效应常用的半导体材料为 什么是半导体压阻效应?

什么是半导体压阻效应?

电阻值随外界影响发生变化的现象称为电阻应变效应。在力(压力)的作用下产生的电阻应变效应,称为压阻效应。 在目前广泛应利用的电阻应变效应,包括金属电阻的应变效应和半导体应变效应两类; 金属电阻的应变效应主要是由于其几何形状的变化而产生的。 半导体材料的应变效应则主要取决于材料的电阻率随受力而变化产生的。 目前,通常所说的金属的电阻应变效应,是指将半导体材料附着在金属材料上形成的压阻效应,而不是金属材料本身的电阻应变效应。这两者实际上是有区别的。但在当前的应用水平上看,混为一谈也没有什么问题。 由下图所示可知,金属(或其它物体)在受到应力作用时,表面会发生形变,将半导体材料附着在相应的金属表面,在金属发生形变时,阻值将发生变化。根据阻值的变化和形变所需要的力,可测出力的大小。 根据金属的形状和受力方式,可测量应变、应力、力矩、位移、加速度、扭矩等物理参量。

压阻式力敏传感器的基片材料是?

压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感 材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用最为普遍。